微电子行业洁净空调系统节能技术研究进展与挑战

蒋宗志; 尹海全; 宋孟杰; 王宝龙; 孙德宇

doi:10.12465/issn.0253-4339.20260520003

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微电子行业洁净空调系统节能技术研究进展与挑战

XXXX | 更新时间：2026-07-10

- 微电子行业洁净空调系统节能技术研究进展与挑战
- Research Progress and Challenges of Energy-Saving Technology for Clean Air Conditioning Systems in the Microelectronics Industry
- 制冷学报 2026年页码：1-19
- 作者机构：
  
  1.北京理工大学机械与车辆学院北京 100081
  2. 北京市热力集团有限责任公司石景山分公司北京 100043
  3. 清华大学建筑学院北京 100084
  4. 中国建筑科学研究院有限公司北京 100013
- 作者简介：
  
  宋孟杰，男，教授，北京理工大学机械与车辆学院，18811726830，E-mail：mengjie.song@bit.edu.cn。研究方向：寒湿环境冰霜防控等。
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(52576006)
- DOI：10.12465/issn.0253-4339.20260520003
  中图分类号： TB657.2;TU831.3
- 收稿：2026-05-20，
  
  修回：2026-06-15，
  
  录用：2026-06-15，
  
  网络首发：2026-07-10，
- 稿件说明：
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蒋宗志，尹海全，宋孟杰，等. 微电子行业洁净空调系统节能技术研究进展与挑战［J］. 制冷学报，XXXX，XX（XX）：1-19.

Jiang Zongzhi，Yin Haiquan，Song Mengjie，et al. Research Progress and Challenges of Energy-Saving Technology for Clean Air Conditioning Systems in the Microelectronics Industry［J］. Journal of Refrigeration，XXXX，XX（XX）：1-19.
蒋宗志，尹海全，宋孟杰，等. 微电子行业洁净空调系统节能技术研究进展与挑战［J］. 制冷学报，XXXX，XX（XX）：1-19. DOI： 10.12465/issn.0253-4339.20260520003.

Jiang Zongzhi，Yin Haiquan，Song Mengjie，et al. Research Progress and Challenges of Energy-Saving Technology for Clean Air Conditioning Systems in the Microelectronics Industry［J］. Journal of Refrigeration，XXXX，XX（XX）：1-19. DOI： 10.12465/issn.0253-4339.20260520003.

摘要

微电子洁净空调具有高能耗、高精度、连续运行等特征，占厂房总能耗的40%～60%，既有综述多聚焦单一技术，缺乏系统梳理与工程适配分析，难以支撑先进制程低碳制造与“双碳”目标落地。本文以系统节能为主线，采用文献计量与归纳评述方法，围绕“风系统、冷热源、智能控制、能量回收”4个维度，综述关键技术路径、适用场景与研究进展，剖析现存科技瓶颈并预判产业发展方向。结果表明：风系统优化、冷热源高效配置、智能控制、能量回收技术可实现10%～39%的节能率，多技术融合协同、数字孪生与低GWP制冷剂为当前研究热点；行业仍存在技术落地性差、耦合机理不清、全生命周期评价缺失、标准体系不完善等突出问题。本文构建了完整的节能技术框架，明确了量化节能潜力与优化方向，以期为微电子洁净空调节能设计、运行优化及技术升级提供系统理论参考与工程依据。

Abstract

Cleanroom air conditioning in microelectronics requires high energy input， high precision， and continuous operation， accounting for 40%–60% of the total plant energy consumption. Most reviews concentrate on a single technology and lack systematic classification and engineering adaptation analysis. Thus， they fail to support low-carbon manufacturing for advanced processes and dual carbon goals. Focusing on systematic energy savings， this study used bibliometric analysis and inductive review to summarize key technical routes， application fields， and research developments across four aspects： air systems， cold and heat sources， intelligent control， and energy recovery. Technical limitations are also analyzed， and future development trends are predicted. The results indicate that improvement of air systems， rational allocation of cold and heat sources， intelligent control techniques， and energy recovery technologies can achieve an energy-saving rate of 10%–39%. Multi-technology integration and cooperation， digital twins， and low Global Warming Potential （GWP） refrigerants have emerged as dominant research themes. The industry still faces significant challenges， including low technology implementation rates， unresolved coupling mechanisms， a lack of comprehensive life-cycle evaluations， and divergent industry standards. This study builds a complete energy-saving technology framework and clarifies the potential energy-saving and optimization directions， with the aim of providing a systematic theoretical framework and an engineering foundation for the energy-saving design， operational optimization， and technological upgrading of cleanroom air conditioning systems in microelectronics.

关键词

Keywords

references

赵护印 . 简仑电子洁净工业厂房的建筑节能设计［J］. 粘接， 2020 ， 42 （ 4 ）： 128 - 131 .

Zhao Huyin . Brief discussion on building energy-saving design of electronic clean industrial plant ［J］. Adhesion ， 2020 ， 42 （ 4 ）： 128 - 131 .

蒋梦奇，李楠，陶辰阳，等 . 芯片厂房洁净空调系统节能运行影响因素研究［J］. 暖通空调， 2022 ， 52 （ 10 ）： 161 - 167 .

Jiang Mengqi ， Li Nan ， Tao Chenyang ， et al . Influencing factors of energy efficient operation of clean air conditioning systems in chip workshops ［J］. Journal of HVAC ， 2022 ， 52 （ 10 ）： 161 - 167 .

贺志勇 . 洁净厂房空调系统节能技术的研究［J］. 洁净与空调技术， 2018 （ 1 ）： 46 - 51 .

He Zhiyong . Research on energy saving technology of clean room air conditioning system ［J］. Contamination Control Air-Conditioning Technology ， 2018 （ 1 ）： 46 - 51 .

Zeng Xinran ， Li Chunhui ， Li Xiaoying ， et al . Energy efficiency optimization of air conditioning systems towards low-carbon cleanrooms： review and future perspectives ［J］. Energies ， 2025 ， 18 （ 13 ）： 3538 .

Zhao Wenxuan ， Li Hangxin ， Wang Shengwei . Energy performance and energy conservation technologies for high-tech cleanrooms： state of the art and future perspectives ［J］. Renewable and Sustainable Energy Reviews ， 2023 ， 183 ： 113532 .

李芃达 . 六部门发布《工业能效提升行动计划》推进重点行业绿色低碳发展［J］. 环境与生活， 2022 （ 8 ）： 20 - 21 .

Li Pengda . Six departments issued the action plan for improving industrial energy efficiency to promote green and low-carbon development in key industries ［J］. Environment and Life ， 2022 （ 8 ）： 20 - 21 .

董学鑫 . 半导体厂房空调系统节能研究［J］. 价值工程， 2020 ， 39 （ 15 ）： 233 - 234 .

Dong Xuexin . Research on energy saving of air-conditioning system in semiconductor factory ［J］. Value Engineering ， 2020 ， 39 （ 15 ）： 233 - 234 .

杨志景 . 洁净室净化空调系统的节能措施分析［J］. 科技创新与应用， 2019 ， 9 （ 31 ）： 147 - 148 .

Yang Zhijing . Analysis of energy-saving measures for clean room purification air conditioning system ［J］. Technology Innovation and Application ， 2019 ， 9 （ 31 ）： 147 - 148 .

石小雷 . 浅谈洁净室净化空调系统的节能方案［J］. 中国设备工程， 2017 （ 24 ）： 96 - 97 .

Shi Xiaolei . Discussion on energy saving scheme of clean room purification air conditioning system ［J］. China Plant Engineering ， 2017 （ 24 ）： 96 - 97 .

蓝巧灵 . 洁净室净化空调系统的节能探究［J］. 企业技术开发， 2017 ， 36 （ 9 ）： 41 - 43 .

Lan Qiaoling . Research on energy saving of clean room purification air conditioning system ［J］. Technological Development of Enterprise ， 2017 ， 36 （ 9 ）： 41 - 43 .

Chang C K ， Lin T ， Hu S C ， et al . Various energy-saving approaches to a TFT-LCD panel fab ［J］. Sustainability ， 2016 ， 8 （ 9 ）： 907 .

Hu S C ， Lin T ， Huang S H ， et al . Energy savings approaches for high-tech manufacturing factories ［J］. Case Studies in Thermal Engineering ， 2020 ， 17 ： 100569 .

Tsao J M ， Hu S C ， Chan D Y ， et al . Saving energy in the make-up air unit （MAU） for semiconductor clean rooms in subtropical areas ［J］. Energy and Buildings ， 2008 ， 40 （ 8 ）： 1387 - 1393 .

Tsao J M ， Hu S C ， Xu Tengfang ， et al . Capturing energy-saving opportunities in make-up air systems for cleanrooms of high-technology fabrication plant in subtropical climate ［J］. Energy and Buildings ， 2010 ， 42 （ 11 ）： 2005 - 2013 .

Yu K T ， Su C L ， Kuo Jianlong . Variable recycled air controls of HVAC systems for energy savings in high-tech industries ［C］// 2016 IEEE International Conference on Industrial Technology （ICIT）， 2016 ： 215 - 220 .

Lu Yanyue ， Chen J ， Liu T C ， et al . Using cooling load forecast as the optimal operation scheme for a large multi-chiller system ［J］. International Journal of Refrigeration ， 2011 ， 34 （ 8 ）： 2050 - 2062 .

Hu S C ， Chuah Y K ， Yen M C . Design and evaluation of a minienvironment for semiconductor manufacture processes ［J］. Building and Environment ， 2002 ， 37 （ 2 ）： 201 - 208 .

Yin Jiawen ， Liu Xiaohua ， Guan Bowen ， et al . Performance and improvement of cleanroom environment control system related to cold-heat offset in clean semiconductor fabs ［J］. Energy and Buildings ， 2020 ， 224 ： 110294 .

Yin Jiawen ， Zhang Tao ， Ma Zhiyao ， et al . Feasibility analysis of canceling reheating after condensation dehumidification in semiconductor cleanrooms ［J］. Journal of Building Engineering ， 2021 ， 43 ： 102589 .

Yin Jiawen ， Liu Xiaohua ， Guan Bowen ， et al . Performance analysis and energy saving potential of air conditioning system in semiconductor cleanrooms ［J］. Journal of Building Engineering ， 2021 ， 37 ： 102158 .

Ma Zhiyao ， Guan Bowen ， Liu Xiaohua ， et al . Performance analysis and improvement of air filtration and ventilation process in semiconductor clean air-conditioning system ［J］. Energy and Buildings ， 2020 ， 228 ： 110489 .

Ma Zhiyao ， Liu Xiaohua ， Zhang Tao . Measurement and optimization on the energy consumption of fans in semiconductor cleanrooms ［J］. Building and Environment ， 2021 ， 197 ： 107842 .

Zhao Jiaan ， Shao Xiaoliang ， Li Xianting ， et al . Theoretical expression for clean air volume in cleanrooms with non-uniform environments ［J］. Building and Environment ， 2021 ， 204 ： 108168 .

Zhao Jiaan ， Liang Chenjiyu ， Wang Huan ， et al . Control strategy of fan filter units based on personnel position in semiconductor fabs ［J］. Building and Environment ， 2022 ， 223 ： 109420 .

Jia Lizhi ， Liu Junjie ， Wei Shen ， et al . Study on the performance of two water-side free cooling methods in a semiconductor manufacturing factory ［J］. Energy and Buildings ， 2021 ， 243 ： 110977 .

BROWN W K . Makeup air systems energy-saving opportunities ［J］. ASHRAE Transactions ， 1990 ， 96 （ 2 ）： 609 - 615 .

Sun Wei . Cleanroom fan energy reduction—airflow control retrofit based on continuous， real-time particle sensing ［J］. Journal of the IEST ， 2019 ， 62 （ 1 ）： 11 - 25 .

Xu Tengfang . Characterization of minienvironments in a clean room： design characteristics and environmental performance ［J］. Building and Environment ， 2007 ， 42 （ 8 ）： 2993 - 3000 .

Villarreal S ， Jimenez J A ， Jin Tongdan ， et al . Designing a sustainable and distributed generation system for semiconductor wafer fabs ［J］. IEEE Transactions on Automation Science and Engineering ， 2013 ， 10 （ 1 ）： 16 - 26 .

Taboada H ， Xiong Zhenhua ， Jin Tongdan ， et al . Exploring a solar photovoltaic-based energy solution for green manufacturing industry ［C］// 2012 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering （CASE）， 2012 ： 40 - 45 .

Song Y H ， Akashi Y ， Yee J J . A study on the energy performance of a cooling plant system： air-conditioning in a semiconductor factory ［J］. Energy and Buildings ， 2008 ， 40 （ 8 ）： 1521 - 1528 .

Suzuki H ， Hanaoka H ， Ohkubo Y ， et al . Energy saving in semiconductor fabs by out-air handling unit performance improvement ［J］. IEEE ， 2000 ： 293 - 296 .

Song G S ， Yoo K H ， Kang S Y ， et al . An experimental study on energy reduction of an exhaust air heat recovery type outdoor air conditioning system for semiconductor manufacturing clean rooms ［J］. Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering ， 2009 ， 21 （ 5 ）： 273 - 281 .

Čaja A ， Kapjor A ， Vantúch M ， et al . Reducing the energy consumption of the air conditioning system in clean rooms using the idle mode ［J］. System Safety： Human-Technical Facility-Environment ， 2024 ， 6 （ 1 ）： 289 - 298 .

Han Gang ， Feng Guozeng ， Tang Chunli ， et al . Evaluation of the ventilation mode in an ISO class 6 electronic cleanroom by the AHP-entropy weight method ［J］. Energy ， 2023 ， 284 ： 128586 .

刘毅超，樊洪明 . 电子洁净厂房设备站脚高度对气流组织影响研究［J］. 洁净与空调技术， 2023 （ 4 ）： 22 - 26 .

Liu Yichao ， Fan Hongming . Airflow study of electronic cleanroom based on numerical simulation ［J］. Contamination Control Air-Conditioning Technology ， 2023 （ 4 ）： 22 - 26 .

吴昌，罗贤才，葛小林，等 . 非均匀开孔率高架地板的电子洁净厂房气流组织CFD仿真初探［J］. 洁净与空调技术， 2020 （ 4 ）： 73 - 77 .

Wu Chang ， Luo Xiancai ， Ge Xiaolin ， et al . CFD simulation of air distribution in a large clean electronic workshop with non-uniform open-hole ratio elevated floor ［J］. Contamination Control Air-Conditioning Technology ， 2020 （ 4 ）： 73 - 77 .

Ozelame K ， Maffessoni D . Commissioning-based analysis of heating， ventilation， and air conditioning systems in biopharmaceutical cleanrooms： enhancing energy efficiency and reducing cost ［J］. Revista Brasileira de Ciências Ambientais ， 2024 ， 59 ： e2036 .

朱明明，宣永梅，贡欣，等 . 不同气流组织下某洁净室内流场研究［J］. 节能， 2016 ， 35 （ 11 ）： 19 - 23 .

Zhu Mingming ， Xuan Yongmei ， Gong Xin ， et al . Flow field study of different air distributions modes in a clean room ［J］. Energy Conservation ， 2016 ， 35 （ 11 ）： 19 - 23 .

杨冕，李倏帆，刘喜松，等 . 生物制药厂房洁净空调步进式值班模式切换策略压差稳定性实测研究［J］. 建筑科学， 2025 ， 41 （ 4 ）： 223 - 230 .

Yang Mian ， Li Shufan ， Liu Xisong ， et al . Test study on dfferential pressure stability of stepwise duty mode switching strategy for clean air conditioning in biopharmaceutical industry ［J］. Building Science ， 2025 ， 41 （ 4 ）： 223 - 230 .

赵晨煜，林忠平，张万毅，等 . PTFE高效滤料的容尘性能优化研究［J］. 洁净与空调技术， 2019 （ 4 ）： 1 - 5 .

Zhao Chenyu ， Lin Zhongping ， Zhang Wanyi ， et al . Optimizing study on dust loading performance of PTFE HEPA filter material ［J］. Contamination Control Air-Conditioning Technology ， 2019 （ 4 ）： 1 - 5 .

刘晓亮 . 超低阻高效ePTFE覆膜滤袋的开发与应用［J］. 上海纺织科技， 2025 ， 53 （ 7 ）： 60 - 62 .

Liu Xiaoliang . Development of ultra-low resistance high-efficiency ePTFE laminated filter bag and its application ［J］. Shanghai Textile Science Technology ， 2025 ， 53 （ 7 ）： 60 - 62 .

杨军 . 医院洁净空调节能措施及其经济效益分析实例［J］. 中国医院建筑与装备， 2017 ， 18 （ 8 ）： 90 - 92 .

Yang Jun . Analysis on energy saving measures and economic benefit of hospital clean air conditioning ［J］. Chinese Hospital Architecture Equipment ， 2017 ， 18 （ 8 ）： 90 - 92 .

牛彦静，苗利婷，张申申，等 . 高效空气过滤器性能实验研究［J］. 沈阳航空工业学院学报， 2010 ， 27 （ 2 ）： 69 - 72 .

Niu Yanjing ， Miao Liting ， Zhang Shenshen ， et al . Experimental study on HEPA filters performances ［J］. Journal of Shenyang Institute of Aeronautical Engineering ， 2010 ， 27 （ 2 ）： 69 - 72 .

陈玲 . 半导体洁净室的空气净化技术综述［J］. 集成电路应用， 2022 ， 39 （ 1 ）： 49 - 53 .

Chen Ling . Overview of air purification technology in semiconductor cleanroom ［J］. Applications of IC ， 2022 ， 39 （ 1 ）： 49 - 53 .

崔吉想，张雪娇，李春雷，等 . 对洁净空调箱送风量控制策略的讨论及测试［J］. 流程工业， 2023 （ 8 ）： 70 - 72 .

Cui Jixiang ， Zhang Xuejiao ， Li Chunlei ， et al . Discussion and test on air supply volume control strategy of clean air conditioning box ［J］. Process ， 2023 （ 8 ）： 70 - 72 .

杨会敏，黄伟环，唐楚强 . 基于差压原理的空调过滤网洁净度检测［J］. 家电科技， 2021 （ 6 ）： 102 - 106 .

Yang Huimin ， Huang Weihuan ， Tang Chuqiang . Air-conditioning filter cleanliness detection based on the principle of differential pressure ［J］. Journal of Appliance Science Technology ， 2021 （ 6 ）： 102 - 106 .

林锡德 . 医院组合式空气处理机组的维护保养［J］. 现代制造技术与装备， 2015 ， 51 （ 5 ）： 171 - 173 .

Lin Xide . Hospital modular air handling units maintenance ［J］. Modern Manufacturing Technology and Equipment ， 2015 ， 51 （ 5 ）： 171 - 173 .

冯显桓 . 基于高低温双冷水机组的恒温恒湿洁净车间空调系统节能性分析［J］. 洁净与空调技术， 2023 （ 3 ）： 84 - 89 .

Feng Xianhuan . Energy saving analysis of constant temperature and humidity air conditioning system in clean workshop based on high and low temperature double chillers ［J］. Contamination Control Air-Conditioning Technology ， 2023 （ 3 ）： 84 - 89 .

Porowski M ， Jakubiak M . Energy-optimal structures of HVAC system for cleanrooms as a function of key constant parameters and external climate ［J］. Energies ， 2022 ， 15 （ 1 ）： 313 .

邵森，向文君，赵卓洲，等 . 过渡季冷源低负荷工况下的补偿方案研究［J］. 工程技术， 2022 （ 5 ）： 16 - 18 .

Shao Sen ， Xiang Wenjun ， Zhao Zhuozhou ， et al . Study on compensation scheme of cold source in transition season under low load condition ［J］. Engineering Science ， 2022 （ 5 ）： 16 - 18 .

Hu S C ， Tsao J M . A comparative study on energy consumption for HVAC systems of high-tech FABs ［J］. Applied Thermal Engineering ， 2007 ， 27 （ 17/18 ）： 2758 - 2766 .

张瑞，罗定鑫，李元阳，等 . 集中式空调系统冷却水变流量特性研究［J］. 制冷与空调（北京）， 2021 ， 21 （ 4 ）： 65 - 71， 81 .

Zhang Rui ， Luo Dingxin ， Li Yuanyang ， et al . Research on variable cooling water flow characteristic of central air-conditioning system ［J］. Refrigeration and Air-conditioning ， 2021 ， 21 （ 4 ）： 65 - 71， 81 .

刘拴强，刘晓华，江亿 . 温湿度独立控制空调系统在医院建筑中的应用［J］. 暖通空调， 2009 ， 39 （ 4 ）： 68 - 73 .

Liu Shuanqiang ， Liu Xiaohua ， Jiang Yi . Application of temperature and humidity independent control air conditioning system in hospital buildings ［J］. Journal of HVAC ， 2009 ， 39 （ 4 ）： 68 - 73 .

Zhuang Chaoqun ， Wang Shengwei ， Shan Kui . Adaptive full-range decoupled ventilation strategy and air-conditioning systems for cleanrooms and buildings requiring strict humidity control and their performance evaluation ［J］. Energy ， 2019 ， 168 ： 883 - 896 .

Zhao Wenxuan ， Li Hangxin ， Wang Shengwei . A generic design optimization framework for semiconductor cleanroom air-conditioning systems integrating heat recovery and free cooling for enhanced energy performance ［J］. Energy ， 2024 ， 286 ： 129600 .

陈英 . 洁净厂房空调系统的特点与节能分析［J］. 中国高新技术企业， 2013 （ 31 ）： 72 - 73 .

Chen Ying . Characteristics and energy saving analysis of air conditioning system in clean workshop ［J］. China High-Tech Enterprises ， 2013 （ 31 ）： 72 - 73 .

Zhao Yu ， Li Nan ， Tao Chenyang ， et al . A comparative study on energy performance assessment for HVAC systems in high-tech fabs ［J］. Journal of Building Engineering ， 2021 ， 39 ： 102188 .

Zhao Wenxuan ， Li Hangxin ， Wang Shengwei . Performance analysis of air-conditioning systems for high-tech cleanrooms under different climate conditions ［C］// The 13th International Conference on Applied Energy ， 2021 ： 1 - 5 .

殷浩，付茜，丁德坤，等 . 集成式冷水机站在厂房节能改造中的应用［J］. 暖通空调， 2018 ， 48 （ 5 ）： 66 - 71 .

Yin Hao ， Fu Xi ， Ding Dekun ， et al . Application of integrated chiller station in energy saving retrofitting of workshops ［J］. Journal of HVAC ， 2018 ， 48 （ 5 ）： 66 - 71 .

陈可 . 分段式制冷技术在洁净空调行业的应用分析［J］. 科学技术创新， 2024 （ 8 ）： 50 - 53 .

Chen Ke . Application analysis of segmented refrigeration technology in clean air conditioning industry ［J］. Scientific and Technological Innovation ， 2024 （ 8 ）： 50 - 53 .

王跃勇，刘虎平 . 谈暖通设计中的变频技术［J］. 山西建筑， 2018 ， 44 （ 9 ）： 87 - 88 .

Wang Yueyong ， Liu Huping . Discussion on the frequency conversion technology in HVAC ［J］. Shanxi Architecture ， 2018 ， 44 （ 9 ）： 87 - 88 .

胡士光，李孝胜，马艳香 . 洁净室空调机组变频节能改造实例分析［J］. 暖通空调， 2013 ， 43 （ 3 ）： 71 - 73 .

Hu Shiguang ， Li Xiaosheng ， Ma Yanxiang . Variable frequency energy saving reformation for air handing units in a clean room ［J］. Journal of HVAC ， 2013 ， 43 （ 3 ）： 71 - 73 .

Chien C F ， Chen Y J ， Han Y T ， et al . Industry 3.5 for optimizing chiller configuration for energy saving and an empirical study for semiconductor manufacturing ［J］. Resources， Conservation and Recycling ， 2021 ， 168 ： 105247 .

由玉文，曹宝山，李颖，等 . 洁净空调系统变新风量的节能控制研究［J］. 洁净与空调技术， 2010 （ 2 ）： 15 - 18 .

You Yuwen ， Cao Baoshan ， Li Ying ， et al . The research of energy saving control on variable fresh air volume in cleaning air conditioning system ［J］. Contamination Control Air-Conditioning Technology ， 2010 （ 2 ）： 15 - 18 .

张印洲 . 洁净空调冷水阀门一阶惯性滞后PID独立控制方法［J］. 机械与电子， 2024 ， 42 （ 1 ）： 31 - 36 .

Zhang Yinzhou . First order inertia lag PID independent control method for cold water valve of clean air conditioner ［J］. Machinery Electronics ， 2024 ， 42 （ 1 ）： 31 - 36 .

赵丽娜，盛志国，董明 . 医院洁净空调系统节能措施分析［J］. 设备管理与维修， 2024 （ 12 ）： 178 - 181 .

Zhao Lina ， Sheng Zhiguo ， Dong Ming . Analysis of energy saving measures for hospital clean air conditioning system ［J］. Plant Maintenance Engineering ， 2024 （ 12 ）： 178 - 181 .

Meng Han ， Liu Junjie ， Shang Wenzhe ， et al . Multi-agent distributed control method for clean air-conditioning systems： balancing cleanliness， pressure and energy consumption ［J］. Journal of Building Engineering ， 2025 ， 107 ： 112806 .

王文文，朱尧 . 洁净室空调通风系统节能措施探讨［J］. 城市建筑， 2017 ， 14 （ 8 ）： 349 .

Wang Wenwen ， Zhu Yao . Discussion on energy-saving measures of air conditioning and ventilation system in clean room ［J］. Urbanism and Architecture ， 2017 ， 14 （ 8 ）： 349 .

张娜，柏宁娟，胡茜 . 浅谈分程控制系统在工业自动化中的应用［J］. 工业仪表与自动化装置， 2013 （ 5 ）： 76 - 79 .

Zhang Na ， Bai Ningjuan ， Hu Qian ， et al . Discussion on the application of split-ranging control system in industrial automation ［J］. Industrial Instrumentation Automation ， 2013 （ 5 ）： 76 - 79 .

汪延璐 . 热回收节能技术在洁净空调系统中的应用［J］. 科技与创新， 2021 （ 11 ）： 174 - 175 .

Wang Yanlu . Application of heat recovery energy-saving technology in clean air conditioning system ［J］. Science and Technology Innovation ， 2021 （ 11 ）： 174 - 175 .

鲁家彤，张超旭，董晓菲，等 . 液体循环式热回收系统的模型建立及节能分析［J］. 山东大学学报（工学版）， 2025 ， 55 （ 4 ）： 149 - 159 .

Lu Jiatong ， Zhang Chaoxu ， Dong Xiaofei ， et al . Model establishment and energy-saving analysis of liquid circulation heat recovery systems ［J］. Journal of Shandong University （Engineering Science）， 2025 ， 55 （ 4 ）： 149 - 159 .

张贤康，司劲松 . 热回收水在洁净空调系统中的节能应用与分析［J］. 节能技术， 2025 ， 43 （ 5 ）： 469 - 474 .

Zhang Xiankang ， Si Jinsong . Energy-saving application and analysis of heat recovery water in clean air conditioning system ［J］. Energy Conservation Technology ， 2025 ， 43 （ 5 ）： 469 - 474 .

顾冬明，杨一心 . 医药净化空调系统的节能措施［J］. 暖通空调， 2018 ， 48 （ 7 ）： 63 - 66 .

Gu Dongming ， Yang Yixin . Energy saving measures of pharmaceutical purification air conditioning systems ［J］. Journal of HVAC ， 2018 ， 48 （ 7 ）： 63 - 66 .

朱俭峰 . 医药工业空调带转轮热回收装置的工程设计和节能分析［J］. 洁净与空调技术， 2012 （ 4 ）： 28 - 38 .

Zhu Jianfeng . Pharmaceutical industry air conditioner with whell heat recovery device of engineering design and energy saving analysis ［J］. Contamination Control Air-Conditioning Technology ， 2012 （ 4 ）： 28 - 38 .

胡芳丽，刘辉，王群芳 . 洁净空调系统节能措施简析［J］. 科技与创新， 2025 （ 7 ）： 189 - 192 .

Hu Fangli ， Liu Hui ， Wang Qunfang . Analysis on energy saving measures of clean air conditioning system ［J］. Science and Technology Innovation ， 2025 （ 7 ）： 189 - 192 .

陈晓阳，从琳，张婷，等 . 溶液调湿空气处理技术的研究进展［J］. 暖通空调， 2011 ， 41 （ 01 ）： 21 - 27 .

Chen Xiaoyang ， Cong Lin ， Zhang Ting ， et al . Research progress of air handling technology with solution humidity adjustment ［J］. Journal of HVAC ， 2011 ， 41 （ 1 ）： 21 - 27 .

Tang Chunli ， Sun Shitong ， Li Siwen ， et al . Energy-saving optimization of MAU integrating a two-way fresh air heat exchanger and the performance comparison across three cities ［J］. Applied Thermal Engineering ， 2025 ， 278 ： 127281 .

王维蔚，王辉涛，韩金蓉，等 . 降低再热能耗的空调热回收系统分析［J］. 化工进展， 2018 ， 37 （ 11 ）： 4181 - 4189 .

Wang WeiWei ， Yu ， Wang Huitao ， et al . Analysis of air conditioning heat recovery system for reducing reheat energy ［J］. Chemical Industry and Engineering Progress ， 2018 ， 37 （ 11 ）： 4181 - 4189 .

陈益武 . 新风热回收梯级处理的洁净空调系统节能分析［J］. 制冷与空调（四川）， 2023 ， 37 （ 5 ）： 694 - 698 .

Chen Yiwu . Energy-saving analysis of the clean air-conditioning system based on cascade processing technology about fresh air heat recovery ［J］. Refrigeration Air Conditioning ， 2023 ， 37 （ 5 ）： 694 - 698 .

韩智香 . 洁净厂房溶液调湿空调技术应用的节能研究［J］. 上海节能， 2018 （ 6 ）： 432 - 436 .

Han Zhixiang . Energy-saving analysis of the liquid desiccant air condi-tioning technology application in the clean workshop ［J］. Shanghai Energy Conservation ， 2018 （ 6 ）： 432 - 436 .

万思敏 . 洁净室空调系统排风热回收技术分析［J］. 消费电子， 2024 （ 10 ）： 45 - 47 .

Wan Simin . Analysis of exhaust heat recovery technology in clean room air conditioning system ［J］. Consumer Electronics Magazine ， 2024 （ 10 ）： 45 - 47 .

Kircher K ， Shi X ， Patil S ， et al . Cleanroom energy efficiency strategies： modeling and simulation ［J］. Energy and Buildings ， 2010 ， 42 （ 3 ）： 282 - 289 .

鄂天放 . 洁净厂房建筑节能措施应用探讨［J］. 数字化用户， 2026 （ 6 ）： 91 - 93 .

E Tianfang . Discussion on the application of energy-saving measures in clean workshop building ［J］. Digitization User ， 2026 （ 6 ）： 91 - 93 .

涂有，涂光备 . 话说微电子工业洁净室的节能（2）——空调方案、设备选择和余热利用［J］. 暖通空调， 2023 ， 53 （ 1 ）： 25 - 33 .

Tu You ， Tu Guangbei . Discussion on energy conservation measures of cleanrooms in microelectronics industry （2）： Air conditioning scheme， device selection and waste heat utilization ［J］. Journal of HVAC ， 2023 ， 53 （ 1 ）： 25 - 33 .

王云莉，林忠平，张万毅，等 . 基于生命周期评价的FFU碳足迹分析［J］. 洁净与空调技术， 2024 （ 2 ）： 39 - 45 .

Wang Yunli ， Lin Zhongping ， Zhang Wanyi ， et al . Analysis on carbon footprint of FFU based on lifecycle assessment ［J］. Contamination Control Air-Conditioning Technology ， 2024 （ 2 ）： 39 - 45 .

张景姿 . 电子洁净厂房建设全生命周期建设成本管理［J］. 城市建筑与发展， 2025 ， 6 （ 17 ）： 1 - 3 .

ZHANG Jingzi . Whole life cycle construction cost management of electronic clean workshop ［J］. Urban Architecture and Development ， 2025 ， 6 （ 17 ）： 1 - 3 ..

朱申琳 . 工业建筑暖通空调系统的工艺适配与节能优化设计［J］. 工程建设， 2026 ， 9 （ 2 ）： 85 - 88 .

ZHU Shenlin . Process adaptation and energy-saving optimization design of HVAC system in industrial buildings ［J］. Engineering Construction ， 2026 ， 9 （ 2 ）： 85 - 88 .

王彦杰 . 电子厂房能源管理系统应用平台开发研究［J］. 安装， 2023 （ S1 ）： 126 - 127 .

WANG Yanjie . Research on development of application platform for energy management system in electronic workshop ［J］. Installation ， 2023 （ S1 ）： 126 - 127 .

Zhao Wenxuan ， Li Hangxin ， Wang Shengwei . An ANN-based generic energy model of cleanroom air-conditioning systems for high-tech fabrication location and technology assessments ［J］. Applied Thermal Engineering ， 2022 ， 216 ： 119099 .

Wang K J ， Dagne T B ， Lin C J ， et al . Intelligent control for energy conservation of air conditioning system in manufacturing systems ［J］. Energy Reports ， 2021 ， 7 ： 2125 - 2137 .

李帮贵 . 制药厂的物联网空调控制系统研究［J］. 中国新技术新产品， 2014 （ 4 ）： 79 .

Li Banggui . Research on air conditioning control system of Internet of Things in pharmaceutical factory ［J］. China New Technologies and Products ， 2014 （ 4 ）： 79 .

张洁，何军涛 . 基于蓝普锋大型PLC的洁净厂房暖通空调集中监控系统［J］. 自动化博览， 2021 ， 38 （ 4 ）： 35 - 37 .

Zhang Jie ， He Juntao . Centralized monitoring system of HVAC in clean workshop based on Lanpufeng large PLC ［J］. Automation Panorama ， 2021 ， 38 （ 4 ）： 35 - 37 .

高润淼，宋孟杰，高恩元，等 . 冷链装备制冷剂相关温室气体减排研究进展［J］. 化工学报， 2023 ， 74 （ S1 ）： 1 - 7 .

Gao Runmiao ， Song Mengjie ， Gao Enyuan ， et al . Review on greenhouse gas reduction related to refrigerants in cold chain ［J］. CIESC Journal ， 2023 ， 74 （ S1 ）： 1 - 7 .

薛雯，张华，刘宗麟 . 低GWP制冷剂的过冷制冷循环性能对比分析［J］. 上海理工大学学报， 2025 ， 47 （ 5 ）： 505 - 511 .

Xue Wen ， Zhang Hua ， Liu Zonglin . Comparative analysis of subcooling refrigeration cycle performance for low-GWP refrigerants ［J］. Journal of University of Shanghai for Science and Technology ， 2025 ， 47 （ 5 ）： 505 - 511 .

张迪，郭智恺，于万金，等 . 新型低GWP制冷剂在-100～200℃的应用研究进展［J］. 制冷学报， 2024 ， 45 （ 3 ）： 23 - 37 .

Zhang Di ， Guo Zhikai ， Yu Wanjin ， et al . Research progress on the application of novel low GWP refrigerants in the temperature range from -100 ℃ to 200 ℃ ［J］. Journal of Refrigeration ， 2024 ， 45 （ 3 ）： 23 - 37 .

Akinseloyin M O ， Hall C ， Stallbaumer-Cyr E M ， et al . Analyzing the carbon dioxide emissions of R134a alternatives in water-cooled centrifugal chillers using the life cycle climate performance framework ［J］. Frontiers in Energy Research ， 2023 ， 11 ： 1293993 .

Cao R ， Qi Y . The research progress of new environmental protection refrigerant mixture R290/R600a ［J］. Journal of Advances in Physical Chemistry ， 2016 ， 5 （ 4 ）： 97 - 104 .

管孝强 . 跨临界CO 2 制冷循环系统运行特性与能效分析［J］. 制冷， 2026 ， 45 （ 2 ）： 59 - 62 .

Guan Xiaoqiang . Operating characteristics and energy efficiency analysis of transcritical CO 2 refrigeration cycle system ［J］. Refrigeration ， 2026 ， 45 （ 2 ）： 59 - 62 .

郝志刚，魏庆芃，邓杰文，等 . 公共建筑空调系统全过程管理方法研究（1）：方法概况［J］. 暖通空调， 2018 ， 48 （ 12 ）： 138 - 144 .

Hao Zhigang ， Wei Qingpeng ， Deng Jiewen ， et al . Research on whole process management method of air conditioning system in public buildings （1）： method profile ［J］. Journal of HVAC ， 2018 ， 48 （ 12 ）： 138 - 144 .

石宇 . 民用建筑典型空调的生命周期评价［J］. 中国建材科技， 2025 ， 34 （ 12 ）： 45 - 49 .

Shi Yu . Life cycle assessment of typical air conditioning in civil buildings ［J］. China Building Materials Science Technology ， 2025 ， 34 （ 12 ）： 45 - 49 .

Solano–Olivares K ， Romero R J ， Santoyo E ， et al . Life cycle assessment of a solar absorption air-conditioning system ［J］. Journal of Cleaner Production ， 2019 ， 240 ： 118206 .

沈军，黄宇杰，钟权，等 . 混合物R1234yf/R290和R1234ze（E）/R290的可燃极限研究［J］. 制冷学报， 2025 ， 46 （ 4 ）： 22 - 28 .

Shen Jun ， Huang Yujie ， Zhong Quan ， et al . Research on the flammability limits of R1234yf/R290 and R1234ze（E）/R290 mixtures ［J］. Journal of Refrigeration ， 2025 ， 46 （ 4 ）： 22 - 28 .

董晓强，李坤，刘玉婷，等 . 氨制冷机房氨气泄漏扩散的数值模拟［J］. 制冷学报， 2017 ， 38 （ 6 ）： 12 - 19 .

Dong Xiaoqiang ， Li Kun ， Liu Yuting ， et al . Numerical simulation of the ammonia-leakage diffusion in ammonia refrigeration room ［J］. Journal of Refrigeration ， 2017 ， 38 （ 6 ）： 12 - 19 .

余思锐，宋孟杰，沈俊，等 . 低温静止与运动表面结冰特性预测技术研究进展［J］. 哈尔滨工业大学学报， 2024 ， 56 （ 10 ）： 150 - 168 .

Yu Sirui ， Song Mengjie ， Shen Jun ， et al . Research progress on icing characteristic prediction technologies for low temperature stationary and moving surfaces ［J］. Journal of Harbin Institute of Technology ， 2024 ， 56 （ 10 ）： 150 - 168 .

薛晓，王新利 . 多联机节能技术的转型趋势及零碳路径分析［J］. 科技与创新， 2025 （ 23 ）： 170 - 172 .

Xue Xiao ， Wang Xinli . Transformation trend and zero-carbon path analysis of multi-connected energy-saving technology ［J］. Science and Technology Innovation ， 2025 （ 23 ）： 170 - 172 .

石新新，何延隆 . 建筑工程中的暖通空调节能技术应用［J］. 建设科技， 2025 （ 24 ）： 81 - 83 .

Shi Xinxin ， He Yanlong . Application of HVAC energy-saving technologies in building engineering ［J］. Construction Science and Technology ， 2025 （ 24 ）： 81 - 83 .

肖周贵 . 商业综合建筑空调节能设计策略研究［J］. 智能建筑与智慧城市， 2026 ，（ 2 ）： 148 - 150 .

XIAO Zhougui . Research on energy-saving design strategies for air conditioning in commercial complex buildings ［J］. Intelligent Building and Smart City ， 2026 ，（ 2 ）： 148 - 150 .

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