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中国科学院物理研究所 (杨沛然,陈烈),中国科学院物理研究所(邵立勤
Published:1981
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[J]. Journal of Refrigeration, 1981, 2(4): 54-57.
DOI:
[J]. Journal of Refrigeration, 1981, 2(4): 54-57. DOI:
在超导隧道效应研究中
铌隧道结的研究一直受到人们的重视
我们利用射频溅射法制备铌膜
然后把此铌膜光刻制成铌下电极
并在溅射设备中用离子溅射清洁Nb电极表面
并立刻向溅射室充入高纯氧气:生成NbO位垒层
最后蒸度Pb上电极等一整套工艺制出的Nb NbO-Pb隧道结
其低温测量得到的Ⅰ-Ⅴ曲线与理论结果十分相似。经数月时间多次重复低温试验
征明隧道结的重复可靠性也是令人满意的。
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