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小面积铌隧道结的制备及其性能

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在超导隧道效应研究中,铌隧道结的研究一直受到人们的重视,我们利用射频溅射法制备铌膜,然后把此铌膜光刻制成铌下电极,并在溅射设备中用离子溅射清洁Nb电极表面,并立刻向溅射室充入高纯氧气:生成NbO位垒层,最后蒸度Pb上电极等一整套工艺制出的Nb NbO-Pb隧道结,其低温测量得到的Ⅰ-Ⅴ曲线与理论结果十分相似。经数月时间多次重复低温试验,征明隧道结的重复可靠性也是令人满意的。

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