Estudio del fenómeno de retraso en el encendido de la bomba de vacío durante el proceso de preenfriamiento al vacío

摘要

En el modo de preenfriamiento automático VCE-15, debido a la influencia del estado del aire de la cámara de vacío, existe un retraso en el encendido de la bomba de vacío, lo que resulta en un aumento del ciclo de preenfriamiento. Sobre la base de la carga fría del colector de agua, se deriva una fórmula de cálculo del tiempo de retraso de encendido de la bomba de vacío, y se verifica utilizando datos experimentales. Los resultados muestran que el tiempo de retraso de encendido de la bomba de vacío generalmente es inferior a 5 minutos y aumenta con el aumento de la temperatura inicial del aire de la cámara de vacío, la humedad relativa y la carga de vacío, y disminuye con el aumento de la capacidad de enfriamiento de la unidad de refrigeración. Al hacer que el aire exterior pase a través del colector de agua para enfriarse antes de ingresar a la cámara de vacío, o al aumentar la capacidad de refrigeración de la unidad de refrigeración, se puede reducir el tiempo de retraso de encendido de la próxima bomba de vacío.

关键词

Termodinámica; Bomba de vacío; Retraso en el encendido; Preenfriamiento al vacío

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