Los sistemas de aire limpio para la microelectrónica presentan un alto consumo de energía, alta precisión y funcionamiento continuo, representando entre el 40% y el 60% del consumo total de energía de la planta. Las revisiones existentes se centran principalmente en tecnologías individuales y carecen de análisis sistemático y adaptación de ingeniería, lo que dificulta apoyar la fabricación baja en carbono de procesos avanzados y el cumplimiento de los objetivos de "doble carbono". Este artículo se centra en la eficiencia energética del sistema, utilizando métodos bibliométricos y revisiones inductivas, abarcando cuatro dimensiones: "sistema de aire, fuentes de frío y calor, control inteligente y recuperación de energía", revisando las rutas tecnológicas clave, escenarios aplicables y avances de investigación, analizando los cuellos de botella tecnológicos existentes y prediciendo la dirección del desarrollo industrial. Los resultados demuestran que la optimización del sistema de aire, la configuración eficiente de las fuentes de frío y calor, el control inteligente y las tecnologías de recuperación de energía pueden lograr tasas de ahorro energético del 10% al 39%. La fusión y coordinación de múltiples tecnologías, el gemelo digital y los refrigerantes de bajo PCG son temas candentes de investigación; la industria aún enfrenta problemas destacados como la baja aplicabilidad tecnológica, mecanismos de acoplamiento poco claros, falta de evaluación del ciclo de vida completo y sistemas de normas incompletos. Este artículo construye un marco tecnológico completo de ahorro energético y aclara el potencial cuantificado de ahorro y las direcciones de optimización, con el fin de proporcionar una referencia teórica sistemática y una base de ingeniería para el diseño, operación y actualización tecnológica de sistemas de aire limpio en microelectrónica.

industria microelectrónica; sistemas de aire limpio; optimización energética; control inteligente