Для решения проблемы отвода тепла от высокомощного голого кристалла в данной работе спроектирована интегрированная система охлаждения с микроканалом самоциркуляции в корпусе силового модуля, а также проведено сравнение теплоотводящих характеристик без микроканалов, с прямыми каналами и с перекрестными каналами. Исследование показало, что теплоотводящие характеристики голого кристалла с микроканалами превосходят характеристики без микроканалов, а с перекрестными каналами — лучше, чем с прямыми; голый кристалл припаян эвтектической пайкой к алмазному теплоотводу, который затем припаян эвтектической пайкой к корпусу силового модуля, что снижает тепловое сопротивление проводимости между голым кристаллом и корпусом до 1/360~1/280 от традиционного технологического сопротивления; моделирование и эксперимент взаимно подтверждают друг друга, максимальное отклонение составляет всего 7,16%. Эта система микроканалов имеет высокую охлаждающую способность и может решить проблему охлаждения голого кристалла при температуре окружающей среды 70 ℃ и тепловой нагрузке 320 Вт/см2.

отвод тепла;микроканалы;эвтектическая пайка;алмаз