Система удаления кремниевого оксида методом замораживания имеет длительный переходный период от запуска системы до входа в устойчивый режим работы, что снижает эффективность обработки кремниевого оксида и стабильность системы. В данной статье проведено обсуждение этой проблемы путем анализа сравнительных экспериментов двух групп, при этом была оценена зависимость температуры на входе и выходе испарителя от времени в переходный период, и исследованы факторы, связанные с влиянием внутренней инерции тепла на взаимосвязь между испарителем предохладителя и испарителем системы охлаждения, а также получены результаты воздействия этих двух проблем на переходный период.

Система удаления кремниевого оксида методом замораживания; переходный период; экспериментальное исследование; связь; внутренняя инерция тепла