Чистые кондиционеры для микроэлектроники характеризуются высоким энергопотреблением, высокой точностью и непрерывной работой, составляя 40%–60% общего энергопотребления завода. Существующие обзоры часто фокусируются на отдельных техниках, при этом отсутствует систематический анализ и инженерная адаптация, что затрудняет поддержку низкоуглеродного производства в передовых процессах и достижение целей "двойного углеродного" баланса. В данной статье в качестве основной линии выбрана системная энергоэффективность с использованием библиометрического анализа и обобщенного обзора, охватывающая четыре измерения: «воздушные системы, тепло- и холодоснабжение, интеллектуальное управление, энергоперенос». В статье рассматриваются ключевые технологические пути, применимые сценарии и научно-исследовательский прогресс, анализируются современные научно-технические барьеры и прогнозируются направления развития отрасли. Результаты показывают, что оптимизация воздушных систем, эффективная конфигурация тепло- и холодоснабжения, интеллектуальное управление и технологии рекуперации энергии могут обеспечить энергоэффективность от 10% до 39%. Мульти-технологическая интеграция, цифровые двойники и низкоглобальный потенциал потепления (GWP) хладагенты являются текущими горячими темами исследований; отрасль по-прежнему сталкивается с такими проблемами как низкая применимость технологий, неясные механизмы взаимодействия, отсутствие оценки полного жизненного цикла и несовершенство нормативных систем. В статье построена полная технологическая рамка энергоэффективности, определены количественный потенциал энергосбережения и направления оптимизации с целью предоставления системного теоретического и инженерного обоснования для проектирования, оптимизации работы и технологического обновления чистых кондиционеров микросхем.

микроэлектронная промышленность;системы чистого кондиционирования;энергосбережение;интеллектуальное управление