Os condicionadores de ar limpos para microeletrônica apresentam alto consumo de energia, alta precisão e operação contínua, representando de 40% a 60% do consumo total de energia da fábrica. As revisões existentes frequentemente focam em tecnologias individuais, faltando uma análise sistemática e adaptação de engenharia, dificultando o suporte à fabricação de baixo carbono em processos avançados e ao cumprimento das metas de "duplo carbono". Este artigo, centrado na economia de energia do sistema, utiliza métodos de bibliometria e revisão indutiva, abrangendo quatro dimensões: “sistema de ar, fontes frias e quentes, controle inteligente, recuperação de energia”, revisando os caminhos tecnológicos essenciais, cenários aplicáveis e avanços de pesquisa, analisando os gargalos tecnológicos existentes e prevendo as direções de desenvolvimento da indústria. Os resultados mostram que a otimização do sistema de ar, a configuração eficiente das fontes frias e quentes, o controle inteligente e as tecnologias de recuperação de energia podem alcançar taxas de economia de energia de 10% a 39%. A integração e coordenação de múltiplas tecnologias, o gêmeo digital e refrigerantes de baixo GWP são temas de pesquisa atuais; o setor ainda enfrenta problemas proeminentes como baixa aplicabilidade tecnológica, mecanismos de acoplamento pouco claros, falta de avaliação do ciclo de vida completo e sistemas de normas incompletos. Este artigo constrói uma estrutura tecnológica completa de economia de energia, esclarece o potencial quantificado de economia e as direções de otimização, buscando fornecer referência teórica sistemática e base de engenharia para o design de economia de energia, otimização operacional e atualização tecnológica dos condicionadores de ar limpos na microeletrônica.

indústria de microeletrônica; sistemas de ar limpo; otimização de economia de energia; controle inteligente