摘要
동결에 의한 실리콘 산화물 제거 시스템은 시스템 가동부터 안정된 운영 상태에 진입하기까지 긴 불안정한 전이 기간이 있어 실리콘 산화물 처리 효율과 시스템 안정성을 감소시킨다. 본 논문에서는 두 그룹 간의 비교 실험을 분석하고 불안정한 전이 기간 동안 증발기 입구 및 출구 온도 변화를 추적하여 전순수냉각기 증발기와 냉각 시스템 증발기 간의 관계에 대한 내부 열 관성의 영향과 관련된 요인을 탐색하고 이 두 가지 문제가 불안정한 전이 기간에 미치는 영향 결과를 얻었다.
关键词
동결에 의한 실리콘 산화물 제거 시스템; 불안정한; 실험 연구; 관계; 내부 열 관성