新工法技術に基づく高出力裸チップモジュールマイクロ流体システムの放熱技術

Li Lidan ,  

Qian Zifu ,  

Zhang Qingjun ,  

Liu Yajun ,  

Li Zhi ,  

Li Peng ,  

摘要

高出力裸チップの放熱問題を解決するために、本稿では電力モジュールキャビティ上に自己循環一体型マイクロチャネル放熱システムを設計し、マイクロチャネルの有無、直線チャネルおよび交差チャネルの放熱特性を比較した。研究により、マイクロチャネル付きの裸チップの放熱特性はマイクロチャネルなしより優れており、交差チャネルを持つ裸チップの放熱特性は直線チャネルを持つものより優れていることが示された。裸チップをダイヤモンドヒートシンクに共晶接合し、さらにヒートシンクを電力モジュールキャビティに共晶接合することで、裸チップと電力モジュールキャビティ間の伝導熱抵抗を従来工法の1/360~1/280に低減した。シミュレーションと実験は相互に検証可能であり、最大偏差はわずか7.16%であった。このマイクロチャネルシステムは強力な放熱能力を持ち、環境温度70 ℃、熱流密度320 W/cm2の場合の裸チップ放熱問題を解決できる。

关键词

放熱;マイクロチャネル;共晶はんだ付け;ダイヤモンド

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