摘要
製造技術の進歩と熱・物質移動理論の発展により、冷却システムは小型化・携帯化の方向に進展しており、近年では多くの形態のマイクロ冷却システムが登場している。本稿では、主に蒸気圧縮冷却、吸収式冷却、半導体冷却の３つの主要なマイクロ冷却システムを紹介する。近年の国内外文献を踏まえ、冷却システムの小型化の最新の発展状況を紹介し、各種システムの長所と短所を比較する。特に、マイクロ蒸気圧縮冷却システムとその核となる部品であるマイクロ圧縮機の発展状況に焦点を当てる。最後に、冷却システムの小型化を制約するボトルネック問題について論じ、マイクロ冷却システムの今後の発展方向を提案する。
关键词
マイクロ冷却システム;蒸気圧縮冷却;半導体冷却;吸収式冷却
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