摘要
VCE-15の自動冷却モードでは、真空チャンバーの空気状態の影響で真空ポンプの起動に遅れが発生し、冷却サイクルが延長されます。 水収集器の冷負荷をもとに真空ポンプの遅れ起動時間の計算式を導き出し、実験データを使用して検証しました。 結果は、真空ポンプの遅延起動時間が通常5分以内であり、開始空気温度、相対湿度、真空チャンバー負荷の増加と共に増加し、冷却能力の増加と共に減少することを示しています。 次の真空ポンプの遅延起動時間を短縮するには、外部空気を水収集器を介して冷却してから真空チャンバーに導入するか、冷却能力を増やすことができます。
关键词
熱力学; 真空ポンプ; 遅延起動; 真空予冷