マイクロエレクトロニクスのクリーンエアコンは高いエネルギー消費、高精度、連続運転などの特徴があり、工場全体のエネルギー消費の40％～60％を占めています。既存のレビューは単一技術に多角的に焦点を当てることが多く、体系的な整理や工学的適応分析が不足しており、先進的なプロセスの低炭素製造および「ダブルカーボン」目標の実現を支援することが困難です。本稿はシステムの省エネを主軸とし、文献計量学と帰納的レビュー手法を用い、「風システム、冷暖源、スマート制御、エネルギー回収」の4つの次元に焦点を当て、重要な技術パス、適用シナリオ、研究進展を総説し、現存する技術的ボトルネックを分析し、産業の発展方向を予測します。結果は、風システムの最適化、冷暖源の高効率構成、スマート制御、エネルギー回収技術が10％～39％の省エネ率を達成できることを示しています。多技術融合協調、デジタルツイン、低GWP冷媒が現在の研究ホットスポットであり、業界は技術の実用化の難しさ、カップリングメカニズムの不明確さ、ライフサイクル全体の評価不足、標準体系の不完全さなどの顕著な問題に直面しています。本稿は完全な省エネ技術フレームワークを構築し、省エネの定量的可能性と最適化方向を明確にし、マイクロエレクトロニクスのクリーンエアコンの省エネ設計、運転最適化、技術アップグレードに体系的な理論的参照と工学的根拠を提供することを目指しています。

マイクロエレクトロニクス産業;クリーンエアコンシステム;省エネ最適化;スマート制御