高精度温湿度恒常クリーンルームの制御設計

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摘要

この論文は実際の高精度温湿度恒常のクリーンルームを例に、空気処理システムを最適化しました。 システムは合理的な制御方法を使用して、クリーンルームに必要な高度な清潔度を満たしつつ、クリーンルームの温度と湿度がそれぞれ± 0-1 ℃、± 5 %の設計要件を満たすようにし、冷凍機のコストと運転費用を大幅に削減しました。

关键词

クリーンルーム、設計、温湿度恒常制御、温湿度恒常空調技術

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