Le système de retrait de l'oxyde de silicium par congélation présente une période de transition non stable relativement longue du démarrage du système à l'entrée dans un état de fonctionnement stable, ce qui réduit l'efficacité du traitement de l'oxyde de silicium et la stabilité du système. Cet article a discuté ce problème en analysant des expériences comparatives entre deux groupes, en suivant les changements de température d'entrée et de sortie de l'évaporateur pendant la période de transition non stable, en explorant les facteurs liés à l'impact de l'inertie thermique interne sur la relation entre l'évaporateur du pré-refroidisseur et l'évaporateur du système de refroidissement, et en obtenant les résultats de l'impact de ces deux problèmes sur la période de transition non stable.

Système de retrait de l'oxyde de silicium par congélation; transition non stable; étude expérimentale; relation; inertie thermique interne