Les climatiseurs propres pour la microélectronique présentent une forte consommation d'énergie, une grande précision et un fonctionnement continu, représentant 40% à 60% de la consommation totale d'énergie de l'usine. Les revues existantes se concentrent souvent sur une seule technologie de manière segmentée, manquent d'une analyse systématique et d'une adaptation technique, ce qui complique le soutien à la fabrication bas carbone des procédés avancés et la réalisation des objectifs de « double carbone ». Cet article, axé sur l'efficacité énergétique du système, utilise la bibliométrie et la synthèse critique, en s'appuyant sur quatre dimensions : « système de ventilation, sources froides et chaudes, contrôle intelligent, récupération d'énergie ». Il passe en revue les principales voies technologiques, les scénarios d'application et les avancées de la recherche, analyse les verrous technologiques existants et anticipe les orientations du développement industriel. Les résultats montrent que l'optimisation du système de ventilation, la configuration efficace des sources froides et chaudes, le contrôle intelligent et la technologie de récupération d'énergie peuvent réaliser des économies d'énergie de 10% à 39%. La convergence multi-technologique, le jumeau numérique et les réfrigérants à faible PRG sont les sujets de recherche actuels ; le secteur présente encore des problèmes majeurs tels que la faible mise en œuvre des technologies, le mécanisme de couplage peu clair, l'absence d'évaluation du cycle de vie complet et un système de normes imparfait. Cet article établit un cadre technologique complet d'économie d'énergie, clarifie le potentiel quantifié d'économie et les orientations d'optimisation, afin de fournir une référence théorique systématique et une base technique pour la conception, l'optimisation opérationnelle et la mise à niveau technologique des climatiseurs propres dans la microélectronique.

industrie microélectronique; systèmes de climatisation propre; optimisation énergétique; contrôle intelligent