Mikroelektronische Reinraum-Klimaanlagen zeichnen sich durch hohen Energieverbrauch, hohe Präzision und kontinuierlichen Betrieb aus und machen 40 % bis 60 % des Gesamtenergieverbrauchs einer Fabrik aus. Bisherige Übersichtsarbeiten konzentrieren sich meist auf einzelne Technologien und fehlen eine systematische Aufarbeitung und ingenieurtechnische Anpassungsanalysen, was die Unterstützung der kohlenstoffarmen Fertigung fortschrittlicher Prozesse und die Umsetzung der "Doppel-Kohlenstoff"-Ziele erschwert. Dieser Artikel nimmt die systemweite Energieeinsparung in den Fokus und verwendet bibliometrische und induktive Bewertungsmethoden, die sich auf vier Dimensionen konzentrieren: "Lüftungssystem, Kälte- und Wärmequellen, intelligente Steuerung, Energierückgewinnung". Es wird eine Übersicht zu Schlüsseltechnologiepfaden, Anwendungsfeldern und Forschungsfortschritten gegeben, bestehende technologische Engpässe analysiert und industrielle Entwicklungstrends prognostiziert. Die Ergebnisse zeigen, dass die Optimierung des Lüftungssystems, die effiziente Konfiguration von Kälte- und Wärmequellen, intelligente Steuerung und Energierückgewinnungstechnologien Energieeinsparungen von 10 % bis 39 % ermöglichen. Multitechnologische Integration, digitale Zwillinge und Kältemittel mit niedrigem GWP sind aktuelle Forschungsschwerpunkte; die Branche steht noch vor Herausforderungen wie geringer technischer Umsetzbarkeit, unklaren Kopplungsmechanismen, fehlender Lebenszyklusanalyse und unvollständigen Normensystemen. Der Artikel entwickelt einen vollständigen Rahmen für energietechnische Maßnahmen, definiert quantifizierbares Einsparpotenzial und Optimierungsrichtungen, um eine systematische theoretische Referenz und Ingenieurgrundlage für energieeffizientes Design, Betriebsoptimierung und technologische Upgrades mikroelektronischer Reinraumklimaanlagen zu bieten.

Mikroelektronikindustrie; Reinraumklimaanlagen; Energieeinsparung; intelligente Steuerung