دراسة تجريبية مقارنة لفترة الانتقال غير الثابتة لنظام إزالة أكسيد السيليكون المبرد بالتجميد

Li Yaqing ,  

Huang Hu ,  

Zhang Zhongbin ,  

Wu Weili ,  

Wang Hui ,  

摘要

نظام إزالة أكسيد السيليكون المبرد بالتجميد يحتوي على فترة انتقال غير ثابتة طويلة من تشغيل النظام إلى دخول حالة تشغيل مستقرة، ويقلل هذا العملية من كفاءة معالجة أكسيد السيليكون وثبات النظام. تمت مناقشة هذا البحث من خلال تحليل التجارب التجريبية المقارنة بين مجموعتين، وتم تتبع تغير درجات حرارة مدخل ومخرج المبخر خلال فترة الانتقال غير الثابتة، واستكشاف العلاقة المرتبطة بين مبخر المبرد ومبخر التبريد المسبق وعوامل تأثير الخمول الحراري الذاتي، و نتائج تأثير هذين المشكلتين على فترة الانتقال غير الثابتة.

关键词

نظام إزالة أكسيد السيليكون المبرد بالتجميد؛ غير الثابت؛ دراسة تجريبية؛ الارتباط؛ الخمول الحراري الذاتي

阅读全文