تتميز مكيفات الهواء النظيفة للميكروإلكترونيات باستهلاك عالي للطاقة، ودقة عالية، وتشغيل مستمر، حيث تمثل 40% إلى 60% من إجمالي استهلاك الطاقة في المصنع، وتتمحور الدراسات الحالية عادة حول تقنيات فردية متعددة الجوانب، مع نقص في التحليل المنهجي والتكيف الهندسي، مما يصعب دعم التصنيع منخفض الكربون في عمليات التصنيع المتقدمة وتحقيق أهداف "الحياد الكربوني". تعتمد هذه الورقة بشكل رئيسي على كفاءة النظام في توفير الطاقة، وتستخدم منهجية القياس الببليوغرافي والمراجعة التحليلية، مركزة على أربعة أبعاد: "نظام التهوية، مصادر التبريد والتدفئة، التحكم الذكي، استرداد الطاقة"، لمراجعة مسارات التكنولوجيا الأساسية، ومجالات التطبيق، والتقدم البحثي، وتحليل العقبات التقنية الحالية والتنبؤ باتجاهات تطور الصناعة. تظهر النتائج أن تحسين نظام التهوية، والتوزيع الفعال لمصادر التبريد والتدفئة، والتحكم الذكي، وتقنيات استرداد الطاقة يمكن أن تحقق توفيرًا في الطاقة يتراوح بين 10% و 39%، ويعد دمج تقنيات متعددة وتوأم رقمي ومبردات منخفضة GWP من مجالات البحث الساخنة الحالية؛ ويواجه القطاع تحديات بارزة مثل ضعف تطبيق التقنيات، عدم وضوح آليات الترابط، نقص تقييم دورة الحياة الكاملة، وعدم كمال نظام المعايير. تبني هذه الدراسة إطارًا تقنيًا كاملاً لتوفير الطاقة، وتحدد الإمكانات الكمية للتوفير واتجاهات التحسين، بهدف تقديم مرجع نظري وهندسي منظم لتصميم وتطوير وتشغيل مكيفات الهواء النظيفة في صناعة الميكروإلكترونيات.

صناعة الميكروإلكترونيات;أنظمة مكيف الهواء النظيفة;تحسين كفاءة الطاقة;التحكم الذكي